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芯片尺寸测量项目

2026-04-06

半导体芯片行业关于管脚测量,考虑到数据的重复性和稳定性,这是行业性的难题。多年来一直靠人工用固定式静态扫描仪,进行芯片尺寸的五项测量,既需要大量人力,又不准确,且效率极其低下。

在芯片企业的大力支持下,我们共同开发了芯片尺寸五项测量视觉检测系统,成功解决了这个难题,完全实现在线自动化检测。

硬件采用千万像素级相机,采用特殊的光学成像模式,根据芯片厂特殊要求,自主开发视觉软件,检测芯片的五项测量:FA角度,LD脚长,TD脚宽,CO共面性,ST支撑性,整个芯片材料有20多种不同尺寸,不同类型的管脚,均能实现在线全检。

重复性和稳定性都实现了芯片行业检测的突破,彻底打破国外核心技术的垄断。

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一,CO(共面性):芯片表面上的金属触点或引脚在水平面上的高度一致性

二,ST(支撑性):芯片引脚到塑封体的距离

测量每个管脚最低点到下塑封体表面的距离

三,TD(脚尖距离):对边相对应位置引脚尖部之间的距离

四,LD(脚长):成型后的引脚起弯处到引脚尖部的距离

五,FA(角度):成型后的引脚起弯处与引脚尖部所形成的切线与水平面的夹角


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